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一、ACU20FD 高精度气体质量流量控制器MFC及华体会官方赞助里尔MFM 产品概述：
◆精度更高，响应更快，带网口；
◆管状分流，不易堵塞；
◆适用于各种低压和高压管道；
◆预热时间短，零漂小，可靠性高；
◆模拟量输入/输出可使用二次表或华体会官方赞助里尔算机控制和显示流量；
◆数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选；
二、产品应用：
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、ACU20FD 高精度气体质量流量控制器MFC及华体会官方赞助里尔MFM 产品参数：
| 满量程范围 | 2SCCM～6000SLM |
| 准 确 度 | ±0.5%F.S |
| 线 性 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 华体会官方赞助里尔：＜0.1s；流量控制器：<0.2s |
| 数 字 量 | RS232/485，MODBUS等协议 |
| 模 拟 量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供 电 | ±15VDC，24VDC，220V（转接） |
| 工作温度 | 0～60℃ |
| 工作压降 | <0.01Mpa（华体会官方赞助里尔） |
| 工作压差 | 0.002~0.5Mpa （流量控制器） |
| 耐 压 | 3MPa/10MPa |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
| 温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材质 | 不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等 |
| 接 头 | φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法兰、快插、宝塔等 |
如果所需性能要求与上述性能不同，请沟通定制。
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